Nanoporous thin films made by atomic layer deposition and molecular layer deposition : Applications as antireflection coatings and for encapsulation gratings / von M. Sc. Lilit Ghazaryan

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Person: Ghazaryan, Lilit [Author]
Corporate Author: Friedrich-Schiller-Universität Jena [Degree granting institution]
Format: Book
Language(s):English
Language note:Zusammenfassungen in deutscher Sprache
Publication:Jena, 2017
Printing place:Jena
Dissertation:Dissertation, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2017
Subjects:Nanoporöser Stoff > Siliciumoxide > Aluminiumoxide > Atomlagenabscheidung > Entspiegeln > Diffusion > Energiedispersive Röntgenspektroskopie > Rasterelektronenmikroskopie
Type of content:Hochschulschrift
Physical description:140 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 29,5 cm
Basic Classification: 33.68 Oberflächen, Dünne Schichten, Grenzflächen
50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie
35.90 Festkörperchemie
Further information:Inhaltsverzeichnis