Kontinuierliche Oberflächenprofile zur optischen Strahlformung / von Lars-Christian Wittig

Das Ziel dieser Arbeit bestand darin, einen Beitragzur Beantwortung der Frage zu leisten, welche Signalverteilungen mit Hilfe refraktiver Strahlformungselemente realisierbar sind. Es konnte gezeigt werden, dass die Strahlformung im Falle von flat-top-Signalverteilungen nahezu beugungsbegrenzt möglich ist, wobei eine deutliche Abängigkeit zwischen der lateralen Ausdehnung der Signalverteilungund der bei einer bestimmten Auflösung erreichbaren Signalqualität gefunden wurde. Im Falle von Grauwert-Signalverteilungen wurde herausgearbeitet, dass die erreichbare Auflösung bei Auftreten eines lokalen Minimums in der Signalverteilung, verglichen mit anderen Verteilungen, am geringsten ist. Unabhängig von der Breite genügt die erreichte Detailauflösung nicht zur Erzeugung von mehreren Plataus mit dazwischenliegendem Minimum. Aus diesem Grund lassen sich zweidimensionale flat-top-Verteilungen mit einer konvexen Berandung mit etwas höherer Auflösung realisieren als solche mit einer konkaven Berandung. Durch Absenken des Kontrasts ist bei beliebigen Ausgangsverteilungen eine höhere Detailauflösung erreichbar. Desweiteren wurde festgestellt, dass bei zweidimensionalen Grauwertverteilungen die rein visuell beurteilte Signalqualität auch bei geringem SNR bereits ausreichend ist.

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Person: Wittig, Lars-Christian [Author]
Corporate Author: Friedrich-Schiller-Universität Jena [Degree granting institution]
Format: Book
Language(s):German
Publication:Jena, 2005
Printing place:Jena
Dissertation:Dissertation, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2005
Subjects:Elektronenstrahllithografie > Lithografie > Mikrooptik > Lichtbrechung > Strahlprofil
Type of content:Hochschulschrift
Related resources:Erscheint auch als Online-Ausgabe: Kontinuierliche Oberflächenprofile zur optischen Strahlformung
Notes:Tag der Verteidigung: 29.11.2005
Physical description:II, 102 Blätter : Illustrationen, Diagramme ; 29,5 cm
Basic Classification: 50.37 Technische Optik