Topographiemessungen technischer Oberflächen mit einer Streulichtanordnung = Topography measurements of engineering surfaces with optical scatterometry / Karl Hehl, Albrecht Hertzsch, Knut Kröger, INNOVENT e.V. Technologieentwicklung Jena, Horst Truckenbrodt, Technische Universität Ilmenau

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Persons: Hehl, Karl [Author]; Hertzsch, Albrecht [Author]; Kröger, Knut [Author]; Truckenbrodt, Horst [Author]
Format: eArticle
Language(s):English
Language note:Zusammenfassung deutsch und englisch
Publication:2003
Part of:Technisches Messen 70(2003), 1, Seite 4-9
ISSN:2196-7113
DOI:10.1524/teme.70.1.4.22665